一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测装置
- 申请号：CN201120527096.9
- 专利类型：实用新型
- 申请（专利权）人：中国科学院微电子研究所
- 公开(公开)号：CN202487543U
- 公开(公开)日：2012.10.10
- 法律状态：
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专利详情
| 专利名称 | 一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测装置 | ||
| 申请号 | CN201120527096.9 | 专利类型 | 实用新型 |
| 公开（公告）号 | CN202487543U | 公开（授权）日 | 2012.10.10 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 汪明刚;李超波;屈芙蓉;夏洋 |
| 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/66(2006.01)I;H01L21/265(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测装置 至一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测装置 | 法律状态 | |
| 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测装置，属于PIII技术领域。该装置包括工作腔室、气源、功率源、偏压源、真空系统、偏压电极、冷却系统，还包括法拉第杯系统、信号检出系统和信号处理与控制系统。该装置能够实现在线检测PIII剂量和均匀性。 | ||
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
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确认变更
成功 - 06 支付尾款
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过户资料
平台保障
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4、专员跟进，交易保障
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