专利详情

专利名称	基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器
申请号	CN201210243513.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102735564A	公开（授权）日	2012.10.17
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	杨晋玲;王帅鹏;王晶晶;杨富华
主分类号	G01N5/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01N5/02(2006.01)I
专利有效期	基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器至基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器，该生化传感器包括谐振腔、悬臂梁和惠斯特桥式检测电路，其中在该悬臂梁的自由端刻蚀有微柱结构(3)和储液槽(4)，并刻蚀有用于流出生化溶液的漏液孔(5)；该悬臂梁的支撑端连接于该惠斯特桥式检测电路，该惠斯特桥式检测电路由四个U型结构的压阻条(1)、三个输入电极(8、9、10)和两个输出电极(7、11)构成，四个压阻条(1)通过信号传输线(2)连接于输入电极(8、9、10)和输出电极(7、11)。该生化传感器通过检测吸附待测物后导致的频率变化，感知微小生化分子，具有较高的灵敏度，可探测到微小质量的生化分子，能够广泛应用于医学、化工等工程领域。