专利详情

专利名称	一种光学面形的检测装置及检测方法
申请号	CN201210199391.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102735184A	公开（授权）日	2012.10.17
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	贾辛;徐富超;谢伟民;邢廷文
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I;G01J9/02(2006.01)I
专利有效期	一种光学面形的检测装置及检测方法至一种光学面形的检测装置及检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明是一种光学面形的检测装置及检测方法，激光器发射的光经过分光镜、准直光学系统、反射镜、参考面反射后产生参考光，参考平面和待测平面产生干涉，干涉光经光路返回后经过分光镜再由聚光镜组收集到CCD探测器接收。移相器用来产生移相。转台用来控制参考平面的旋转，平移台控制待测平面的移动。平移台使待测平面移动来测量待测平面上不同的子孔径，转台用来控制参考平面的旋转，在原有的三平面测量的算法基础上，只用两个平面在子孔径拼接过程中就解出两个平面的面形信息。本发明提高检测的精度，同时在检测过程中不更换镜子，用两个平面就完成了绝对测量，提高了检测的重复性和再现性。