专利详情

专利名称	高速冲击薄膜摩擦学试验机及评价薄膜冲击摩擦性的方法
申请号	CN201210164401.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102706765A	公开（授权）日	2012.10.03
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	王立平;蒲吉斌;赵文杰;白明武;薛群基
主分类号	G01N3/56(2006.01)I	IPC主分类号	G01N3/56(2006.01)I;G01N3/303(2006.01)I
专利有效期	高速冲击薄膜摩擦学试验机及评价薄膜冲击摩擦性的方法至高速冲击薄膜摩擦学试验机及评价薄膜冲击摩擦性的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种具有新型结构的高速冲击薄膜摩擦学试验机，包括由高精度气悬浮电机构成的高速旋转薄膜样品台，悬臂梁定位装置、安装在悬臂梁前端的冲击摩擦对偶样，和用于监测冲击摩擦对偶样与薄膜样品间距离的显微镜构成的冲击运动系统，以及由多普勒激光测振仪和声波测振仪传感器构成的信号采集系统。与现有技术相比，本发明的冲击薄膜摩擦学试验机能够在超高速运动和超轻冲击载荷条件下精确评价微米/纳米尺度薄膜的冲击摩擦性、耐久寿命和接触力特征等性能。