专利详情

专利名称	电压调制的紫外双色光电响应的探测器的制备方法
申请号	CN201210161725.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102694067A	公开（授权）日	2012.09.26
申请（专利权）人	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	发明（设计）人	王荣新;杨乐臣;张晓东
主分类号	H01L31/18(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0296(2006.01)I
专利有效期	电压调制的紫外双色光电响应的探测器的制备方法至电压调制的紫外双色光电响应的探测器的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明揭示了一种电压调制的紫外双色光电响应的探测器的制备方法，其特征在于包括如下步骤：1)采用耐高温材料作为衬底片；2)在所述衬底片上沉积一层掺杂氧化锌薄膜以作为光的探测材料；3)在所述掺杂氧化锌薄膜上沉积金属接触材料，形成具有图形结构的接触电极；而后对通过上述步骤所获得的样品进行高温处理，温度范围为200℃～1200℃；以及4)在所述接触电极上沉积加厚电极。本发明的制备工艺简单，器件成本低，同时不仅提高了器件的紫外探测灵敏度，而且还可通过控制电压选择测试波长，适于紫外探测器的工业化推广。