专利详情

专利名称	多路气体质量流量计控制装置及控制方法
申请号	CN201210230724.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102759932A	公开（授权）日	2012.10.31
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	侯振辉
主分类号	G05D13/62(2006.01)I	IPC主分类号	G05D13/62(2006.01)I
专利有效期	多路气体质量流量计控制装置及控制方法至多路气体质量流量计控制装置及控制方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种多路气体质量流量计控制装置和控制方法，用于控制多路气体的质量流量，包括现场总线模块和主控模块，所述主控模块与现场总线模块通过有线或无线方式连接，所述现场总线模块能够与多个气体质量流量计相连接，并接受所述主控模块的控制指令，根据该控制指令控制多个气体质量流量计输出的气体质量流量。本发明通过主控模块和现场总线模块的通信实现了对多路气体质量流量计进行联合(或单独)精确控制，实现对多路气体进行任意流量比例的精确汇流或对单路气体进行任意流量比例的精确分流，提高了对气体流速的控制精度(优于1ml/min)，并可以实现自动增减气体流速。