一种超纯氢气制造装置
- 申请号:CN201120253262.0
- 专利类型:实用新型
- 申请(专利权)人:中国科学院大连化学物理研究所
- 公开(公开)号:CN202144451U
- 公开(公开)日:2012.02.15
- 法律状态:
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专利详情
专利名称 | 一种超纯氢气制造装置 | ||
申请号 | CN201120253262.0 | 专利类型 | 实用新型 |
公开(公告)号 | CN202144451U | 公开(授权)日 | 2012.02.15 |
申请(专利权)人 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 发明(设计)人 | 徐恒泳;侯守福;于晓东;董恩宁;孙剑 |
主分类号 | C01B3/56(2006.01)I | IPC主分类号 | C01B3/56(2006.01)I |
专利有效期 | 一种超纯氢气制造装置 至一种超纯氢气制造装置 | 法律状态 | |
说明书摘要 | 本实用新型公开了一种超纯氢气制造装置,包括原料氢气缓冲罐,过滤器,流量控制阀,加热器,金属钯复合膜氢气纯化器,换热器,氢气储罐。原料氢气缓冲罐(11)的气体出口通过管路依次经过滤器(12)、流量控制阀(13)和加热器(14)后与金属钯复合膜氢气纯化器(15)的入口相连,金属钯复合膜氢气纯化器(15)的出口通过管路经换热器(16)换热后与氢气储罐(17)相连;金属钯复合膜氢气纯化器(15)的尾气出口排空。本装置制造超纯氢气,具有投资省和生产成本低的优点,可用于为多晶硅生产和LED外延片生长等提供廉价超纯氢气。 |
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