专利详情

专利名称	基于电流变液的柔性可控气囊抛光工具
申请号	CN201210080053.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102765012A	公开（授权）日	2012.11.07
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	王佳;万勇建;施春燕
主分类号	B24B1/00(2006.01)I	IPC主分类号	B24B1/00(2006.01)I
专利有效期	基于电流变液的柔性可控气囊抛光工具至基于电流变液的柔性可控气囊抛光工具	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明为基于电流变液的柔性可控气囊抛光工具，基底为具有一凹形空腔且下端开口的刚性圆柱体结构；其外上部通过连接件和转轴相连获得驱动力；中空气囊粘接于基底外侧壁上；凹形空腔内壁上绝缘固接两电极板且呈八字形排布并由转轴内的导线提供电源；中空气囊内填充电流变液；被抛光工件的上表面置于中空气囊下表面且紧密贴合；本发明抛光方法：当抛光层和工件上表面紧密接触时，不对电极板通电，电流变液呈现液态，抛光层产生变形并与所述工件的面形吻合；对电极板通电，电流变液将从液态变为粘稠状或固态，则抛光层表面形状被固定下来，实现抛光层对所述工件局部面形的记录，保证抛光曲率半径恒定区域的面形精度，控制所述工件的材料去除量。