专利详情

专利名称	避免氧化炉管二氯乙烯失效的方法和装置
申请号	CN201110157046.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102820207A	公开（授权）日	2012.12.12
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	李春龙;王桂磊;李俊峰;赵超
主分类号	H01L21/00(2006.01)I	IPC主分类号	H01L21/00(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I
专利有效期	避免氧化炉管二氯乙烯失效的方法和装置至避免氧化炉管二氯乙烯失效的方法和装置	法律状态	授权
说明书摘要	一种避免氧化炉管二氯乙烯失效的方法和装置，用于确保热氧化生长过程中二氯乙烯通过N2的携带方式正常通入所述氧化炉管内，对于每个含有二氯乙烯的工艺制程，采集其二氯乙烯重量减少的数据，如所述二氯乙烯重量减少的数据在正常值范围内，则说明每次都有足够量的二氯乙烯通进所述氧化炉管内。本发明通过直接监测DCE的重量是否减少来确保DCE送入氧化炉管内，消除了传统技术中通过监测N2的流量而间接地监测DCE是否送入氧化炉管所隐藏的不确定因素，保证了DCE能够有效去除SiO2生长过程的杂质离子，确保了SiO2的薄膜质量。