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一种多通道集成滤光片的制作方法

  • 申请号:CN201210314467.4
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:广州中国科学院先进技术研究所
  • 公开(公开)号:CN102819058A
  • 公开(公开)日:2012.12.12
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种多通道集成滤光片的制作方法
申请号 CN201210314467.4 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN102819058A 公开(授权)日 2012.12.12
申请(专利权)人 广州中国科学院先进技术研究所 发明(设计)人 金建;邸思;姚豫培;陈贤帅;杜如虚
主分类号 G02B5/20(2006.01)I IPC主分类号 G02B5/20(2006.01)I;G02B1/10(2006.01)I
专利有效期 一种多通道集成滤光片的制作方法 至一种多通道集成滤光片的制作方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明公开了一种多通道集成滤光片的制作方法,该方法包括以下步骤:A.在基底上制作一保护区域;B.布置好所述保护区域的膜层结构;C.在所述保护区域上镀制一种功能的滤光薄膜;D.重复步骤A~C,在基底上镀制其它功能的滤光薄膜。本发明将不同膜系的滤光膜层集成到一个基底上,大大提高了滤光片的集成度。另外,在布置膜层结构前可以根据实际需求来设计不同的膜系,因此能进一步扩展滤光片的工作范围。本发明广泛应用于薄膜及工程光学领域。

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