专利详情

专利名称	大口径反射光学元件高反射率扫描测量多波长集成方法
申请号	CN201210172475.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102721529A	公开（授权）日	2012.10.10
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	李斌成;曲哲超
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I;G01M11/04(2006.01)I
专利有效期	大口径反射光学元件高反射率扫描测量多波长集成方法至大口径反射光学元件高反射率扫描测量多波长集成方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	大口径反射光学元件高反射率扫描测量多波长集成方法，根据光腔衰荡技术原理，将第i束激光(i＝1，…N，N＞2)注入由高反射镜构成稳定的第i个初始光学谐振腔，记录光腔衰荡信号，并利用单指数函数拟合得到第i个初始光学谐振腔在第i束激光波长处的衰荡时间τ0i；同样，在初始光学谐振腔内根据使用角度加入待测大口径反射光学元件构成稳定的第i个测试光学谐振腔，待测大口径反射光学元件置于二维位移平台上，记录光腔衰荡信号，并利用单指数函数拟合得到第i个测试光学谐振腔在第i束激光波长处的衰荡时间τi，通过τ0i和τi可得到待测高反射镜在第i束激光波长处的反射率Ri，通过移动二维位移平台可以对待测大口径反射光学元件实现反射率二维成像测量。