专利详情

专利名称	一种硼（B）扩散掺杂的方法
申请号	CN201210301219.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102797040A	公开（授权）日	2012.11.28
申请（专利权）人	中国科学院电工研究所	发明（设计）人	汤叶华;周春兰;王文静;费建明;曹红彬
主分类号	C30B31/06(2006.01)I	IPC主分类号	C30B31/06(2006.01)I
专利有效期	一种硼（B）扩散掺杂的方法至一种硼（B）扩散掺杂的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种硼（B）扩散掺杂的方法，其步骤如下：（1）腐蚀清洗待掺杂的衬底表面，清洗完成后将衬底干燥；（2）扩散炉升温，同时向扩散石英管内导入大氮；当温度达到850-1050°C后，将步骤（1）制备好的清洁衬底放入扩散石英管恒温区，密封扩散炉炉口；待扩散炉温度稳定后，向扩散石英管内通入氧气、携带硼源的小氮和气态水；所述的大氮的流量为12-20slm/min；所述的氧气的流量为2000-5000sccm/min；所述的携源小氮的流量800-3000sccm/min；所述的气态水的流量范围为100-900sccm/min；（3）待扩散过程结束后将衬底取出冷却。