专利详情

专利名称	厚膜倒装调整制作多级微反射镜的方法
申请号	CN201210255733.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102789017A	公开（授权）日	2012.11.21
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	梁静秋;梁中翥;郑莹
主分类号	G02B5/08(2006.01)I	IPC主分类号	G02B5/08(2006.01)I;G02B1/10(2006.01)I
专利有效期	厚膜倒装调整制作多级微反射镜的方法至厚膜倒装调整制作多级微反射镜的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种厚膜倒装调整制作多级微反射镜的方法，包括如下步骤：制作2N个原始基片并对其进行清洗处理；在原始基片上光刻出所需掩膜图形，然后沉积薄膜材料，剥离光刻胶，形成膜层结构；在基底上光刻出掩蔽图形，并沉积一层厚度小于h的膜层；分别将前N个倒置的带结构基片定位在基底特定位置上，并固定在一起，形成多级微反射镜；在多级微反射镜上表面沉积增反射膜层。本发明有效提高了阶梯表面粗糙度的控制精度，且阶梯垂直高度的实时监测，使得横向尺寸精度高，工艺可控性强。