专利详情

专利名称	大口径平面镜面形检测装置
申请号	CN201120520376.7	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN202471018U	公开（授权）日	2012.10.03
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	段亚轩;陈永权;赵建科;李坤;龙江波
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	大口径平面镜面形检测装置至大口径平面镜面形检测装置	法律状态	授权
说明书摘要	本实用新型涉及一种大口径平面镜面形检测装置，包括激光器、吸收体、分光镜、标准球面反射镜、探测单元以及控制与采集计算机；分光镜设置于激光器的出射光路上，分光镜将入射至分光镜的入射光分为透射光以及反射光；吸收体设置在经分光镜后的反射光路上；标准球面反射镜设置在经分光镜后的透射光路上，标准球面反射镜将入射至标准球面反射镜的入射光反射至分光镜并由分光镜反射至探测单元；控制与采集计算机与探测单元相连。本实用新型提出了一种利用光纤激光器与哈特曼波前传感器来对大口径平面镜面形检测的装置，解决了大口径平面镜面形的测试问题，能够有效的测试大口径平面镜的面形，并很好的保证了测试精度。