专利详情

专利名称	降低HEMT器件栅槽刻蚀损伤的方法
申请号	CN201110340567.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102339748A	公开（授权）日	2012.02.01
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	黄俊;魏珂;刘果果;樊捷;刘新宇
主分类号	H01L21/311(2006.01)I	IPC主分类号	H01L21/311(2006.01)I;H01L21/335(2006.01)I
专利有效期	降低HEMT器件栅槽刻蚀损伤的方法至降低HEMT器件栅槽刻蚀损伤的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明实施例公开了一种降低HEMT器件栅槽刻蚀损伤的方法，包括：提供基底，基底包括缓冲层、位于所述缓冲层表面上的外延层、位于所述外延层表面上的帽层以及位于所述帽层表面上的钝化层；采用钝化层刻蚀粒子刻蚀掉栅槽上方预设厚度的钝化层材料，以在所述钝化层表面内形成栅槽图形，所述预设厚度小于钝化层的厚度；采用帽层刻蚀粒子刻蚀上方剩余厚度的钝化层材料以及栅槽区域的帽层材料，以在所述钝化层和所述帽层表面内形成HEMT器件的栅槽。本发明实施例剩余厚度的钝化层材料阻止了钝化层刻蚀粒子对帽层材料的刻蚀，降低的栅槽刻蚀损伤，提高了HEMT器件电性和良率。