专利详情

专利名称	二维电动位移平台
申请号	CN200810051119.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101339914	公开（授权）日	2009.01.07
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	宋志;李树峰;刘亚忠;高跃红;郑福志
主分类号	H01L21/67(2006.01)I	IPC主分类号	H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I
专利有效期	二维电动位移平台至二维电动位移平台	法律状态	授权
说明书摘要	本发明涉及一种二维电动位移平台，该位移平台的Y向马达固定于基台上，Y向动台置于基台的Y向导轨上，Y向马达通过Y向驱动杆与Y向动台连接； X向动台置于Y向动台的X向导轨上；X向马达固定于基台上；X向过渡台置于基台的X向导轨上，X向马达通过X向驱动杆与X向过渡台连接；Y向过渡台置于X向过渡台的Y向导轨上；连动杆一端与X向动台固定连接，另一端与Y 向过渡台固定连接。本发明X向马达置于基台之上，使得运动部件质量得到大幅降低，在马达驱动力矩不变的情况下，实现了大加速度，从而提高了平台的位移速度。