专利详情

专利名称	一种气敏传感器
申请号	CN200710117612.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101329291	公开（授权）日	2008.12.24
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	黄钦文;景玉鹏;陈大鹏;欧毅;叶甜春
主分类号	G01N27/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01N27/00(2006.01)I
专利有效期	一种气敏传感器至一种气敏传感器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及微机电系统技术领域，公开了一种气敏传感器，包括单晶硅衬底，起支撑作用的二氧化硅/氮化硅层，加热测温电极、叉指电极，加热测温电极和叉指电极之间的电绝缘层，叉指电极引出线压焊点、加热测温电极引出线压焊点和气体敏感层；所述电绝缘层在所述加热测温电极形成后淀积在所述加热测温电极上，所述叉指电极形成于所述电绝缘层上，所述气体敏感层淀积在所述叉指电极上。利用本发明，提高了器件被加热的工作区域部分与周围的热绝缘，降低了器件功耗，简化了器件中加热和测温部分的结构，有利于器件的大量生产以及和信号采集处理电路的集成。