专利详情

专利名称	PMOS器件叠层结构的制备和栅功函数调节方法
申请号	CN201110046360.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102651313A	公开（授权）日	2012.08.29
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	徐秋霞;李永亮
主分类号	H01L21/28(2006.01)I	IPC主分类号	H01L21/28(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I
专利有效期	PMOS器件叠层结构的制备和栅功函数调节方法至PMOS器件叠层结构的制备和栅功函数调节方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种PMOS器件叠层结构的制备和栅功函数的调节方法，在完成常规的LOCOS或STI介质隔离后，用快速热氧化或化学法在半导体衬底上生长超薄界面氧化层或氮氧化层；淀积高介电常数(K)栅介质，接着快速热退火；淀积复合金属栅；淀积势垒金属层；淀积多晶硅膜和硬掩模，然后进行光刻和硬掩膜的刻蚀；去胶后，依次刻蚀多晶硅膜/势垒金属层/金属栅/高K介质/界面氧化层形成多晶硅膜/势垒金属层/金属栅/高K栅介质叠层结构。然后进行常规的侧墙形成、源/漏注入及快速热退火，在完成源/漏杂质激活的同时，实现了PMOS器件金属栅有效功函数的调节。