专利详情

专利名称	一种基于BCB键合工艺的混合集成激光器及其制作方法
申请号	CN201210418410.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102904159A	公开（授权）日	2013.01.30
申请（专利权）人	江苏尚飞光电科技有限公司;中科院南通光电工程中心;中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	盛振;王智琪;甘甫烷;武爱民;王曦;邹世昌
主分类号	H01S5/323(2006.01)I	IPC主分类号	H01S5/323(2006.01)I;H01S5/024(2006.01)I;H01S5/22(2006.01)I
专利有效期	一种基于BCB键合工艺的混合集成激光器及其制作方法至一种基于BCB键合工艺的混合集成激光器及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种基于BCB（苯并环丁烯）键合工艺的混合集成激光器及其制作方法，所述混合集成激光器包括具有硅衬底、埋氧层及硅波导结构的SOI基光波导芯片、BCB覆层、具有底接触层、有源层、隧道结及顶接触层的Ⅲ-Ⅴ族激光器外延层、贯穿所述Ⅲ-Ⅴ族激光器外延层、BCB覆层及埋氧层的热沉通孔、填充于所述热沉通孔内的多晶硅热沉；结合于所述Ⅲ-Ⅴ族激光器外延层表面且具有电极通孔的氮化硅隔离层以及电极结构。本发明采用BCB键合工艺实现了SOI硅基光波导芯片与Ⅲ-Ⅴ族激光器的单片集成，并且引入多晶硅热沉结构以提高激光器的性能。本发明可作为硅基光源器件，为硅基光集成芯片提供片上光源。