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干涉测量光学材料均匀性的方法

  • 申请号:CN201210406066.1
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 公开(公开)号:CN102928200A
  • 公开(公开)日:2013.02.13
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 干涉测量光学材料均匀性的方法
申请号 CN201210406066.1 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN102928200A 公开(授权)日 2013.02.13
申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 栾竹;刘世杰;吴福林;成倩;白云波
主分类号 G01M11/02(2006.01)I IPC主分类号 G01M11/02(2006.01)I
专利有效期 干涉测量光学材料均匀性的方法 至干涉测量光学材料均匀性的方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 一种干涉测量光学材料均匀性的方法,将光学材料加工成前后表面具有一定的夹角α的样品,利用干涉仪通过五次波面测量,然后计算得到样品的光学均匀性,为绝对测量结果。特别适合于待测元件超过干涉仪测试口径的大口径元件测量。

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