专利详情

专利名称	多孔高分子薄膜生物芯片的制作方法
申请号	CN201210370227.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102901809A	公开（授权）日	2013.01.30
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	韩伟静;俞育德;李运涛;周晓光;孙英男;魏清泉
主分类号	G01N33/53(2006.01)I	IPC主分类号	G01N33/53(2006.01)I
专利有效期	多孔高分子薄膜生物芯片的制作方法至多孔高分子薄膜生物芯片的制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种多孔高分子薄膜生物芯片的制作方法，包括如下步骤：步骤1：取一衬底，清洗，去除有机和无机杂质；步骤2：前烘，对衬底进行真空干燥；步骤3：在经过真空干燥衬底的表面覆盖有机薄膜；步骤4：刻蚀有机薄膜，在有机薄膜上形成通孔阵列，得到多孔高分子薄膜生物芯片；步骤5：在多孔高分子薄膜生物芯片表面蒸镀无机薄膜；步骤6：将蒸镀有无机薄膜的多孔高分子薄膜生物芯片用氧等离子体进行处理；步骤7：将双官能团分子共价结合在该多孔高分子薄膜生物芯片表面，获得表面活化的多孔高分子薄膜生物芯片。其具有制作简单易行，材料稳定，生物兼容性，对设备和技术要求较低，同时兼具可靠性高、成本低廉等特点。