专利详情

专利名称	纳米图形化和超宽频电磁特性测量系统
申请号	CN201110209908.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102901471A	公开（授权）日	2013.01.30
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所;北京汇德信科技有限公司	发明（设计）人	韩秀峰;马勤礼;于国强;刘厚方;余天;周向前;艾金虎;孙晓玉
主分类号	G01B15/04(2006.01)I	IPC主分类号	G01B15/04(2006.01)I;G01R29/08(2006.01)I
专利有效期	纳米图形化和超宽频电磁特性测量系统至纳米图形化和超宽频电磁特性测量系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种纳米图形化和超宽频电磁特性测量系统，包括电源、控制装置和测量装置，所述控制装置与所述测量装置连接，所述控制装置和所述测量装置分别与所述电源连接，所述测量装置包括具有SEM成像或EBL图形化功能的成像装置、真空腔、真空系统、样品台和磁场响应特性测试装置，所述真空系统与所述真空腔连接，所述成像装置、所述样品台及所述磁场响应特性测试装置均设置在所述真空腔内，所述成像装置及所述磁场响应特性测试装置对应于所述样品台设置。本发明可以快速高效地进行纳米材料和器件及其阵列样品的测试与研究，具有广泛的应用领域和市场需求。