专利详情

专利名称	一体化超声喷雾热解大面积宽温区镀膜装置
申请号	CN200910214490.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101759372A	公开（授权）日	2010.06.30
申请（专利权）人	中国科学院广州能源研究所	发明（设计）人	徐刚;徐雪青;黄华凛;王平倬;罗立明
主分类号	C03C17/00(2006.01)I	IPC主分类号	C03C17/00(2006.01)I;C03C17/22(2006.01)I
专利有效期	一体化超声喷雾热解大面积宽温区镀膜装置至一体化超声喷雾热解大面积宽温区镀膜装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一体化超声喷雾热解大面积宽温区镀膜装置，包括机架、储气罐，设置在机架上的输液泵，在所述机架上方设有三维运动机构，以及用于控制该三维运动机构做三维运动的控制模块；在机架内、三维运动机构下方设有可控温的加热平台；在所述加热平台和三维运动机构之间设有可高温镀膜的一体化超声雾化喷嘴系统，一体化超声雾化喷嘴系统朝向所述加热平台，所述输液泵与一体化超声雾化喷嘴系统连通，该一体化超声雾化喷嘴系统还与所述三维运动机构滑动连接。本发明利用一体化超声雾化喷嘴，克服了传统超声喷雾方式超声频率高、气雾不均匀、机构复杂的问题；利用外设冷却气体喷嘴，克服了一体化超声雾化喷嘴通常在低温环境下使用的问题，实现高温成膜。