专利详情

专利名称	薄膜太阳能电池的制作方法及系统
申请号	CN201210360688.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102903791A	公开（授权）日	2013.01.30
申请（专利权）人	深圳先进技术研究院;香港中文大学	发明（设计）人	刘壮;肖旭东;顾光一;贺凡
主分类号	H01L31/18(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/18(2006.01)I
专利有效期	薄膜太阳能电池的制作方法及系统至薄膜太阳能电池的制作方法及系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及薄膜太阳能电池的制作方法及系统。一种薄膜太阳能电池的制作方法包括以下步骤：在衬底上设定定位标记和分割轨迹；在衬底上沉积钼背电极，并根据所述定位标记进行定位，完成第一次划线；在所述钼背电极上依次沉积铜铟镓硒光吸收层、缓冲层和高阻层，并根据所述定位标记进行定位，完成第二次划线；在所述高阻层上沉积窗口层，并根据所述定位标记进行定位，然后完成第三次划线，形成电池样片；及根据所述定位标记进行定位，对所述电池样片按照裁剪的轨迹进行裁剪，形成薄膜太阳能电池。上述薄膜太阳能电池的制作方法，可以制作出所需形状的、子电池面积相等的薄膜太阳能电池。