专利详情

专利名称	一种有源静电电场探头
申请号	CN201110228907.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102411095A	公开（授权）日	2012.04.11
申请（专利权）人	中国科学院空间科学与应用研究中心	发明（设计）人	全荣辉;韩建伟;张振龙;黄建国;封国强;李宏伟
主分类号	G01R29/12(2006.01)I	IPC主分类号	G01R29/12(2006.01)I;G01R29/24(2006.01)I
专利有效期	一种有源静电电场探头至一种有源静电电场探头	法律状态	授权
说明书摘要	本发明涉及一种有源静电电场探头。所述探头包括前端探头和电荷传感器，所述前端探头包括感应金属片(1)，所述感应金属片(1)下方设置有环形的压电薄膜(2)，该压电薄膜(2)通过相应的环形导电环(3)经电阻(14)与第一转接头(9)连接；所述感应金属片(1)上加有静电电压，并通过导引电极(4)经电阻(14)与第二转接头(17)连接。本发明的有源静电电场探头，其测量精度仅依赖于感应金属片电荷分辨率，其精度得到进一步提高；测量反应时间仅依赖于感应金属片受到电场作用时间，因此测量反应快；而且其结构简单，成本低廉，适用于真空转接环境。