一种超细晶金属或合金薄膜及其制备方法
- 申请号：CN201010033715.9
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：国家纳米科学中心
- 公开(公开)号：CN101748366A
- 公开(公开)日：2010.06.23
- 法律状态：实质审查的生效
- 出售价格： 面议 立即咨询
专利详情
| 专利名称 | 一种超细晶金属或合金薄膜及其制备方法 | ||
| 申请号 | CN201010033715.9 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN101748366A | 公开（授权）日 | 2010.06.23 |
| 申请（专利权）人 | 国家纳米科学中心 | 发明（设计）人 | 张建明;郭传飞;刘前 |
| 主分类号 | C23C14/14(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/14(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种超细晶金属或合金薄膜及其制备方法 至一种超细晶金属或合金薄膜及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明提供一种超细晶金属或合金薄膜及其制备方法。其中制备超细晶金属薄膜的方法包括以下步骤：步骤1)选取基底，对其进行清洗和干燥处理；步骤2)采用物理气相沉积工艺，生长一层金属In，Sn，Zn或Bi薄膜；步骤3)表面氧化步骤2)的薄膜；重复步骤2)和步骤3)，直至薄膜达到所需厚度。采用本发明的方法所获得的金属或合金薄膜的晶粒尺寸在5nm-50nm，并且工艺简单可控、产品尺寸形貌均一、成本低廉，无需将现有设备进行改动即可得到超细晶薄膜。 | ||
交易流程
-
01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
-
05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
- 07 交付证书
过户资料
平台保障
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障
- 用户留言
暂时还没有用户留言