半导体基底
- 申请号:CN201190000055.2
- 专利类型:实用新型
- 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
- 公开(公开)号:CN202513135U
- 公开(公开)日:2012.10.31
- 法律状态:
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专利详情
专利名称 | 半导体基底 | ||
申请号 | CN201190000055.2 | 专利类型 | 实用新型 |
公开(公告)号 | CN202513135U | 公开(授权)日 | 2012.10.31 |
申请(专利权)人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明(设计)人 | 尹海洲;朱慧珑;骆志炯 |
主分类号 | H01L21/74(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/74(2006.01)I |
专利有效期 | 半导体基底 至半导体基底 | 法律状态 | |
说明书摘要 | 一种半导体基底,包括:半导体衬底,所述半导体衬底包括隔离结构,以隔离至少两个有源区;其特征在于,所述半导体基底还包括:修正半导体区,所述修正半导体区嵌于至少部分数目的所述有源区中,所述修正半导体区材料与所述半导体衬底材料不同,且所述修正半导体区的上表面至少与所述有源区的上表面齐平,所述修正半导体区的下表面高于所述隔离结构的下表面。本实用新型去除了穿过隔离结构进行横向扩散的掺杂离子,保证了半导体器件的阈值电压稳定。 |
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