专利详情

专利名称	一种氧化锌基透明导电薄膜及其制备方法
申请号	CN201210172083.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102747334A	公开（授权）日	2012.10.24
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	宋伟杰;魏铁峰;杨晔;张贤鹏;黄金华;兰品军;朱科
主分类号	C23C14/35(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/35(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I
专利有效期	一种氧化锌基透明导电薄膜及其制备方法至一种氧化锌基透明导电薄膜及其制备方法	法律状态	授权
说明书摘要	本发明公开了一种氧化锌基透明导电薄膜及其制备方法，将制得的浆料通过成型、冷等静压的方法得到陶瓷胚体，再通过调节烧结过程中的升温程序得到高质量的靶材，然后通过磁控溅射方法得到含钛共掺杂的氧化锌基导电薄膜，所得到的导电薄膜具有高的折射率，在硅基薄膜太阳能电池中应用可以提升与硅薄膜折射率的匹配度，减小光在界面处的反射，进而提高电池效率。该方法制备含钛共掺杂氧化锌基透明导电薄膜所用的原料便宜，操作简单，适于规模生产，具有良好的太阳电池及光电应用前景。