专利详情

专利名称	三腔多通道光谱阶跃式集成滤光片
申请号	CN200810038824.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101303424	公开（授权）日	2008.11.12
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	段微波;刘定权;张凤山
主分类号	G02B5/20(2006.01)I	IPC主分类号	G02B5/20(2006.01)I;G02B1/10(2006.01)I
专利有效期	三腔多通道光谱阶跃式集成滤光片至三腔多通道光谱阶跃式集成滤光片	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种三腔多通道光谱阶跃式集成滤光片，包括：本发明的光谱阶跃式集成滤光片通过改变间隔层中微区光学厚度的办法，采用三腔结构，结合真空镀膜技术和半导体离子束刻蚀工艺，实现多通道带通滤光片于同一基片的集成。该集成滤光片能广泛用于航空航天遥感仪器的多(高)光谱密集获取。本发明的多通道微型阶跃集成滤光片具有的优点是：通道光谱矩形度好，分光效率高；采用组合刻蚀的方法，成品率较传统的逐一集成的滤光片有很大提高；可以在微小区域形成多个光谱通道，能够实现空间位置和光谱位置的准确定位，易于实现高光谱。