专利详情

专利名称	一种大口径非球面镜检测系统
申请号	CN200810104089.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101261183	公开（授权）日	2008.09.10
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	谢意;陈强;伍凡
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I;G01B11/00(2006.01)I
专利有效期	一种大口径非球面镜检测系统至一种大口径非球面镜检测系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种大口径非球面镜检测系统，其特征在于：包括菲索型干涉仪，小孔滤波器，双计算全息图，被测非球面镜，大、小型五维调整架；双计算全息图由主全息和对准全息两部分图形组成，双计算全息图固定在小型五维调整架上，并与菲索型干涉仪、小孔滤波器一起置于大型五维调整架上，观察对准全息的干涉图形可判断主全息的调整状态，在实现主全息精确对准的前提下，保持双计算全息图和菲索型干涉仪的相对位置不变，通过调整大型五维调整架调整主全息相对被测非球面镜的位置，小孔滤波器可将双计算全息图衍射的杂散光滤除，提高干涉条纹的对比度，从而实现对被测非球面镜的高精度检测，该检测系统为大口径非球面镜的研制提供了一种有效的检测手段，具有较大的应用价值。