专利详情

专利名称	弯折形弹性梁的电容式加速度传感器及制备方法
申请号	CN201210418835.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102879608A	公开（授权）日	2013.01.16
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	车录锋;周晓峰;王跃林
主分类号	G01P15/125(2006.01)I	IPC主分类号	G01P15/125(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I
专利有效期	弯折形弹性梁的电容式加速度传感器及制备方法至弯折形弹性梁的电容式加速度传感器及制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种弯折形弹性梁的电容式加速度传感器及制备方法。该传感器至少包括：第一电极结构层、中间结构层及第二电极结构层；其中，第一电极结构层与第二电极结构层分别设置有电极引出通孔；所述中间结构层包括：基于具有双器件层的含氧硅基片所形成的边框、双面对称的质量块、及一边连接边框、另一边连接质量块的弯折形弹性梁，其中，在两质量块的两面对称地设有防过载凸点及阻尼调节槽，且处于不同平面的弯折形弹性梁交错分布、在空间上不重叠。由于弯折形弹性梁的弯折次数、梁总长、梁总宽可基于需要来确定，故本发明能制备不同灵敏度的电容式加速度传感器，灵活性大。