专利详情

专利名称	一种微型三维电场传感器
申请号	CN200710063882.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101246192	公开（授权）日	2008.08.20
申请（专利权）人	中国科学院电子学研究所	发明（设计）人	夏善红;叶超;陈贤祥;彭春荣;陈绍凤
主分类号	G01R29/12(2006.01)I	IPC主分类号	G01R29/12(2006.01)I
专利有效期	一种微型三维电场传感器至一种微型三维电场传感器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明属于传感器技术领域，特别涉及一种电场传感器。为了解决现有的微型电场传感器仅能测量电场三维矢量某一个方向分量的大小的问题，本发明提出一种微型三维电场传感器，该传感器由X向电场测量单元、 Y向电场测量单元、Z向电场测量单元以及基底构成，其中X向电场测量单元、Y向电场测量单元、Z向电场测量单元分别用于测量电场矢量的X 向、Y向、Z向分量，且所述每个方向的电场测量单元均包括驱动电极、驱动结构、屏蔽电极和感应电极。该传感器采用微加工技术制备，具有体积小、功耗低、易于批量化生产等优点。