专利详情

专利名称	一种真空腔内转动部件的定位装置
申请号	CN201210390288.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102881547A	公开（授权）日	2013.01.16
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所;北京泰龙电子技术有限公司	发明（设计）人	王佳;刘训春;席峰;夏洋
主分类号	H01J37/244(2006.01)I	IPC主分类号	H01J37/244(2006.01)I
专利有效期	一种真空腔内转动部件的定位装置至一种真空腔内转动部件的定位装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种真空腔内转动部件的定位装置，属于微电子技术领域。所述装置包括：激光反射装置、密封部件、腔体外玻璃密封件和密封框架；激光反射装置位于反应室内，并与密封框架的顶端通过螺纹连接；密封框架由下向上装入反应室，并通过螺钉与反应室固定连接；腔体外玻璃密封件与密封框架的底端通过螺纹连接；反应室与密封框架连接之处设置有密封部件；腔体外玻璃密封件与密封框架底端连接之处设置有密封部件和玻璃。本发明的定位装置用于溅射台中，特别是在有污染和高温的真空环境下，可以实现高速转动部件的高精度定位，且装置结构简单、成本低廉、可操作性强、精度高及维护性好。