专利详情

专利名称	采用旋转补偿器积分采样的椭偏成像方法和装置
申请号	CN200810102271.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101246122	公开（授权）日	2008.08.20
申请（专利权）人	中国科学院力学研究所	发明（设计）人	靳刚;孟永宏
主分类号	G01N21/21(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/21(2006.01)I;G01B11/06(2006.01)I;G06T1/00(2006.01)I
专利有效期	采用旋转补偿器积分采样的椭偏成像方法和装置至采用旋转补偿器积分采样的椭偏成像方法和装置	法律状态	授权
说明书摘要	本发明涉及一种采用旋转补偿器和时间积分采样的椭偏成像方法和装置。所述方法包括如下步骤：对系统进行设置；图像传感器进行时间积分曝光；对数据进行转换、传输、处理和存储；对采集到的数据进行计算。所述装置包括：入射单元；出射单元；数据采集处理单元；数据采集处理单元通过硬触发的方式来触发出射单元获得样品的椭偏图像本发明利用时间积分方法进行采样大幅度提高了系统的时间分辨率即减少了采样时间；采用匀速旋转相位补偿器达到了稳定的目的，能够保证操控精度。