专利详情

专利名称	基于动态纳米刻划技术制作滚筒压模的方法
申请号	CN201210363707.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102866579A	公开（授权）日	2013.01.09
申请（专利权）人	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	发明（设计）人	高育龙;崔铮
主分类号	G03F7/00(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/00(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I
专利有效期	基于动态纳米刻划技术制作滚筒压模的方法至基于动态纳米刻划技术制作滚筒压模的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种基于动态纳米刻划技术制作滚筒压模的方法，将具有纳米结构的平面压模与待加工滚筒表面接触，利用平面压模的断开面的边缘在待加工滚筒表面刻划出纳米尺度的线栅。本发明还公开了一种平面压模的制作方法。本发明的方法中产生的线条宽度可以达到纳米级，并且在滚筒上进行的压模，使生产中成本降低，并且可以实现连续生产的显著优势；通过将小面积纳米级模板，放大成大面积的纳米级模板，解决了大面积纳米级模具制备难得问题。