专利详情

专利名称	一种纳米复合结构的V-C-Co韧性涂层及其制备方法
申请号	CN201210363892.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102864413A	公开（授权）日	2013.01.09
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	黄峰;李艳玲;张晓娟
主分类号	C23C14/14(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/14(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I
专利有效期	一种纳米复合结构的V-C-Co韧性涂层及其制备方法至一种纳米复合结构的V-C-Co韧性涂层及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种纳米复合结构的V-C-Co韧性涂层，以重量百分比计，组成元素为：33.9～70.0％的V、15.1～23.0％的C和7.0～45.0％的Co，属于陶瓷涂层领域。本发明还公布了一种纳米复合结构V-C-Co韧性涂层的制备方法，其方法为：将VC靶安装在中频阴极上，Co靶安装在直流阴极上，采用磁控溅射方法，对基体溅射沉积纳米复合结构的V-C-Co韧性涂层，利用此种方法制备的纳米复合结构的V-C-Co韧性涂层兼具有高硬度、高韧性的特点，其塑性指数为0.45以上，硬度达到15GPa以上，可以满足防护涂层及耐磨涂层高硬度和高韧性的要求，其制备方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。