专利详情

专利名称	立式大量程高精度光学平面测试装置
申请号	CN201210312545.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102865829A	公开（授权）日	2013.01.09
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	马冬梅;宋立维;王涛
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	立式大量程高精度光学平面测试装置至立式大量程高精度光学平面测试装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	立式大量程高精度光学平面测试装置属于光学测试仪器研究领域，该装置包括升降支腿、支撑底台、水平转台、配重块、精密转台、连接轴、长导轨承载板、两个反射镜、第一测角装置、第二测角装置、长导轨、电控系统和数据采集分析系统，两个反射镜在长导轨上等间隔移动，通过两个测角装置获得测试点之间的角度变化值，用此角度变化值和间隔量的乘积可获得测试点间的高度变化值，从而测出平面镜在此方向上的轮廓形状；经过精密转台实现对平面镜在不同方向上的轮廓形状测试，最后对测试数据进行分析计算而获得平面镜整体、全口径面形轮廓图。本发明可实现大口径光学平面反射镜在使用过程中的面形校准与监测，对测试环境敏感度低，可达到高测试精度。