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干式真空泵单元及具有该干式真空泵单元的干式真空泵

  • 申请号:CN201210258278.X
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
  • 公开(公开)号:CN102828952A
  • 公开(公开)日:2012.12.19
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 干式真空泵单元及具有该干式真空泵单元的干式真空泵
申请号 CN201210258278.X 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN102828952A 公开(授权)日 2012.12.19
申请(专利权)人 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 发明(设计)人 李昌龙;王光玉;刘坤;张晓玉
主分类号 F04C25/02(2006.01)I IPC主分类号 F04C25/02(2006.01)I
专利有效期 干式真空泵单元及具有该干式真空泵单元的干式真空泵 至干式真空泵单元及具有该干式真空泵单元的干式真空泵 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明属于真空泵领域,具体地说是一种干式真空泵单元及具有该干式真空泵单元的干式真空泵,干式真空泵单元包括泵体、第一盖板及主、从动转子轴,第一盖板安装在泵体的一侧,主、从动转子轴转动安装于泵体内,主、从动转子轴上的转子相互啮合,在第一盖板及泵体上分别开有与泵体内相连通的吸气口及排气口;干式真空泵包括干式真空泵单元、电机单元、传动单元和封板单元,各单元模块彼此独立,且具有相同的接口,模块与模块之间通过连接件进行连接。本发明大大简化了真空泵的装配和安装过程,方便真空泵的运输、用户使用、维修保养,便于真空系统的快速连接,提高真空泵应用场合的灵活性及使用的可拓展性,利于干式真空泵的规模化投产。

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