专利详情

专利名称	一种可调整入射离子能量、实时监测离子通量的控温样品座
申请号	CN200910251599.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101750427A	公开（授权）日	2010.06.23
申请（专利权）人	中国科学院等离子体物理研究所	发明（设计）人	周海山;赵利平;罗广南
主分类号	G01N23/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01N23/00(2006.01)I;G05D23/22(2006.01)I
专利有效期	一种可调整入射离子能量、实时监测离子通量的控温样品座至一种可调整入射离子能量、实时监测离子通量的控温样品座	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供的一种可调整入射离子能量、实时监测离子通量的控温样品座，通过绝缘主动冷却样品座和绝缘样品的双重绝缘设计、通过铠装热电偶包套施加负偏压和实时监测离子通量的设计、以及被动式温度调整垫片的使用；主动冷却样品座与热电偶包套都有独立的电源用以调整到达离子的能量并实时测量打到样品有效面积上的总通量，并可通过调整绝缘温控片的厚度与冷却介质种类和流量调整实验过程中的样品温度。该设计既可以保证实验过程中直接准确读出打到样品有效面积上的离子通量而不需要探针等其他辅助手段，同时还可进行不同入射能量和样品温度下的样品辐照实验。