专利详情

专利名称	纳米粒子制备及与粉体材料原位复合装置
申请号	CN200920247646.4	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN201512407U	公开（授权）日	2010.06.23
申请（专利权）人	中国科学院金属研究所	发明（设计）人	王平;康向东
主分类号	B82B3/00(2006.01)I	IPC主分类号	B82B3/00(2006.01)I
专利有效期	纳米粒子制备及与粉体材料原位复合装置至纳米粒子制备及与粉体材料原位复合装置	法律状态	授权
说明书摘要	本实用新型涉及粉体纳米复合材料制备装置，具体为一种纳米粒子制备及与粉体材料原位复合装置，实现纳米粒子的制备，以及纳米粒子与粉体材料的原位复合，普遍适用于制备各种粉体纳米复合材料。该装置包括纳米颗粒制备系统、纳米颗粒/粉体材料复合系统及进样/取样系统，纳米颗粒制备系统设有真空室、离子源、转靶，离子源一端伸入真空室内，转靶设置于真空室内、与离子源的溅射方向相对应，离子源另一端连有离子源电源和高纯氩气体钢瓶；复合系统设有反弹盘，反弹盘设置于真空室内的下方，与转靶反射的方向相对应；进样/取样系统设有手套操作箱，真空室一侧的密封舱门伸到手套操作箱中，手套操作箱上连有机械泵、循环净化系统和高纯惰性气体钢瓶。