专利详情

专利名称	一种制作双波长分布反馈集成激光器的方法
申请号	CN201210154197.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102651535A	公开（授权）日	2012.08.29
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	朱洪亮;潘教青;赵玲娟;王宝军;王圩
主分类号	H01S5/22(2006.01)I	IPC主分类号	H01S5/22(2006.01)I;H01S5/12(2006.01)I
专利有效期	一种制作双波长分布反馈集成激光器的方法至一种制作双波长分布反馈集成激光器的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种制作双波长分布反馈集成激光器的方法，该双波长分布反馈集成激光器用于探测CO与CH4的浓度，该方法包括：在掺杂磷化铟衬底上制作长条形介质掩膜图形；在掺杂磷化铟衬底上外延生长有源增益区和复合光栅层，在该复合光栅层上制作光栅；在该光栅上外延生长掺杂磷化铟盖层和重掺杂欧姆接触层，并制作串行条形波导结构或并行条形波导耦合结构；其余按标准激光器管芯工艺和光纤耦合工艺完成后续制作，得到双波长分布反馈集成激光器。利用本发明提供的方法制作的双波长分布反馈集成激光器，结合目前通用的宽谱红外探测器及电路处理技术，能够将CO和CH4两种气体浓度的检测合并于同一仪器内，实现对CO与CH4两种气体浓度的快速检测和预警。