专利详情

专利名称	一种微机电系统扭转镜面驱动器、制作方法及应用
申请号	CN200410053563.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1587022	公开（授权）日	2005.03.02
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	李四华;吴亚明
主分类号	B81B5/00	IPC主分类号	B81B5/00;B81C1/00;G02F1/19;G02B6/26
专利有效期	一种微机电系统扭转镜面驱动器、制作方法及应用至一种微机电系统扭转镜面驱动器、制作方法及应用	法律状态	授权
说明书摘要	本发明涉及一种微机电系统扭转镜面驱动器、制作方法及应用。其特征在于所述的扭转微镜面位于上电极和下电极构成的隔离空间内，其扭转的角度随驱动器的上电极和下电极施加的电压调节。其制作方法是利用MEMS中的光刻、腐蚀、键合、溅射和等离子硅深刻蚀技术制作一种工艺简单可行，利用静电精密驱动，光插入损耗小，驱动电压低的可用于反射式可调光衰减器的扭转微镜面驱动器。该种微镜面驱动器相对于现有MEMS技术制作出的镜面驱动器，有体积小、工艺简单、驱动电压低、可靠性高，响应速度快和利于集成的优点。