专利详情

专利名称	原位微区结构分析与性质测试联合系统
申请号	CN200410070112.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1587977	公开（授权）日	2005.03.02
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	白雪冬;王恩哥;薛其坤;王中林;陈东敏
主分类号	G01N13/10	IPC主分类号	G01N13/10;G01N27/00;G01N23/225
专利有效期	原位微区结构分析与性质测试联合系统至原位微区结构分析与性质测试联合系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种原位微区结构分析与性质测试联合系统，包括透射电子显微镜和扫描探针显微镜，扫描探针显微镜包括机械系统和电子学系统，机械系统安装在与透射电子显微镜样品杆外形尺寸一致的气密的空心杆内，对探针(或样品)的位置在透射电镜中可观测的空间范围内进行调节，电子学系统控制机械系统工作并对所测信号进行处理。本系统将透射电子显微镜和扫描探针显微镜的优势集于一身，实时记录材料微区原子结构和原位物性，将微区物性与其微观结构直接对应起来，能可视地操纵扫描探针显微镜的双探针(或样品)，并对样品进行位置调节和物性测量，可针对个别纳米结构进行再重入和定位测量。