专利详情

专利名称	一种采用超临界水剥离聚酰亚胺薄膜的系统
申请号	CN201020125714.2	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN201670723U	公开（授权）日	2010.12.15
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	王磊;景玉鹏
主分类号	B81C1/00(2006.01)I	IPC主分类号	B81C1/00(2006.01)I
专利有效期	一种采用超临界水剥离聚酰亚胺薄膜的系统至一种采用超临界水剥离聚酰亚胺薄膜的系统	法律状态	授权
说明书摘要	本实用新型公开了一种采用超临界水剥离聚酰亚胺薄膜的系统，包括：存放超纯水的去离子水储罐；连接于去离子水储罐并将去离子水储罐中的超纯水加压到临界压力以上的高压泵；连接于高压泵出口并将临界状态的超纯水加热到临界温度以上的加热器；连接于加热器的另一端并控制腔室入口的第一阀门；连接于第一阀门并延伸入腔室内部将超临界水喷射到涂有PI的硅片上的可动喷嘴；安装于腔室内部并盛放被腐蚀件的硅片夹盘；放置于硅片夹盘上的涂有亚胺化后PI薄膜的硅片；安装于腔室侧壁并将反应中生成的挥发性物质抽走的机械泵；安装于腔室下壁并开启或关闭排水管路的第二阀门；连接于第二阀门并将腔室中的冷凝水排出的排水口。该系统操作简单，去胶效率高。?