专利详情

专利名称	一种具有凹槽形加热膜区的三维微型加热器及其制作方法
申请号	CN201010278255.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101917784A	公开（授权）日	2010.12.15
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	许磊;李铁;王跃林
主分类号	H05B3/14(2006.01)I	IPC主分类号	H05B3/14(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I
专利有效期	一种具有凹槽形加热膜区的三维微型加热器及其制作方法至一种具有凹槽形加热膜区的三维微型加热器及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	发明涉及一种具有凹槽形加热膜区的三维微型加热器及其制作方法，其特征在于横截面呈“V”字形或倒梯形结构的凹槽形加热膜区通过支撑悬梁与衬底框架相连，加热电阻丝以折线形式排布在加热膜区凹槽的内部并通过支撑悬梁上的引线与衬底框架上的电极相连，在加热膜区和支撑悬梁下方是采用硅各向异性湿法腐蚀形成的隔热腔体。本发明提供的三维微型加热器的加热电阻丝排布在具有三维结构的加热膜区的凹槽内部，对流换热引起的热量散失较小，有利于降低加热器的功耗。凹槽结构使得热量集中并提高了加热效率有利于加热器在红外光源和传感领域的应用。