专利详情

专利名称	聚合酶链式反应微芯片的结构设计及制作方法
申请号	CN200310122607.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1552887	公开（授权）日	2004.12.08
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	赵建龙;邹志青;周天;陈飞;徐元森
主分类号	C12P19/34	IPC主分类号	C12P19/34;C12Q1/25
专利有效期	聚合酶链式反应微芯片的结构设计及制作方法至聚合酶链式反应微芯片的结构设计及制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种聚合酶链式反应微芯片的结构设计及制作方法。结构设计特征在于以硅片作为芯片的基片，在硅片正面刻蚀微池，上面键合Pyrex硼硅玻璃，形成密闭的微腔；玻璃上有进出孔，微型的加热器和温度待热器在硅片反面。其制作特征在于包括PCR微芯片的制作和PCR微芯片的封装两部分。采用倒装焊接工艺很容易实现PCR微芯片阵列，在同一块PCB板上倒装焊接多个相同的PCR微芯片，形成PCR 微芯片阵列。本发明优点在于提供的PCR微芯片结构设计体积小，热容低，同时集成了微型加热器和温度传感器；封装采用IC工艺的倒装焊法且有利于PCR微芯片陈列的制作。