专利详情

专利名称	基于谐振原理工作的MEMS滤波器模块
申请号	CN201010534603.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101984557A	公开（授权）日	2011.03.09
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	宁瑾;李永梅;韩国威;杨富华
主分类号	H03H9/24(2006.01)I	IPC主分类号	H03H9/24(2006.01)I
专利有效期	基于谐振原理工作的MEMS滤波器模块至基于谐振原理工作的MEMS滤波器模块	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种基于谐振原理工作的MEMS滤波器模块，包括：一差分信号产生电路；一MEMS滤波器芯片的第一输入端a与差分信号产生电路的输出端连接；一电压转换电路的输出端与该MEMS滤波器芯片的第二输入端b连接；一互阻放大电路的输入端与MEMS滤波器芯片的输出端b连接；一频率漂移检测电路的输入端与互阻放大电路的输出端连接；一频率稳定电路的输入端与频率漂移检测电路的输出端连接，该频率稳定电路输出端与MEMS滤波器芯片的第三输入端c连接，当互阻放大电路的输出信号的频率发生漂移时，提供相应的直流电压信号给滤波器芯片，使滤波器模块的输出信号的频率保持稳定。