专利详情

专利名称	基于高精度电感测头的逐级递推式纳米级测量系统
申请号	CN02155880.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1508510	公开（授权）日	2004.06.30
申请（专利权）人	中国科学院自动化研究所	发明（设计）人	台宪青;胡旭晓;杨克己
主分类号	G01B7/02	IPC主分类号	G01B7/02;G01R1/067
专利有效期	基于高精度电感测头的逐级递推式纳米级测量系统至基于高精度电感测头的逐级递推式纳米级测量系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种基于高精度电感测头的逐级递推式纳米级测量系统，包括控制部分，还包括：铁心(9)放置在线圈(10)和 (8)之间；测杆(7)，其一端连接铁心(9)，另一端连接测杆触头(5)；微进给装置(6)位于测杆(7)之间，根据被测物体(4)的微小位移量提供进给量。本发明针对微位移测量采用逐级递推方式进行分步推进，一方面使纳米级测量易于实现，另一方面使整个测量系统具有较大的测量范围。因此，纳米级进给装置决定了该测量系统具有较高的测量精度。该测量系统采用接触方式测量，因此本系统适合准静态的微位移测量。