欢迎来到喀斯玛汇智科技服务平台

服务热线: 010-82648522

首页 > 专利推荐 > 专利详情

基于空间像自定心的投影物镜波像差检测方法

  • 申请号:CN201110172627.1
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 公开(公开)号:CN102231048A
  • 公开(公开)日:2011.11.02
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
  • 立即咨询

专利详情

专利名称 基于空间像自定心的投影物镜波像差检测方法
申请号 CN201110172627.1 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN102231048A 公开(授权)日 2011.11.02
申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 杨济硕;王向朝;步扬;彭勃;殷立峰
主分类号 G03F7/20(2006.01)I IPC主分类号 G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I
专利有效期 基于空间像自定心的投影物镜波像差检测方法 至基于空间像自定心的投影物镜波像差检测方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 一种基于空间像自定心的投影物镜波像差检测方法,通过最大光强位置对仿真和实测空间像进行定心,然后对仿真空间像进行主成份分析得到主成份矩阵,再建立主成份系数与泽尼克系数之间的回归矩阵,最后利用主成份矩阵和回归矩阵求解实测空间像的波像差。本发明的优点是提出了一种简易的空间像定心方法,使基于空间像主成份分析的波像差检测方法的检测速度和精度都得到了明显提高。

交易流程

  • 01 选取所需
    专利
  • 02 确认专利
    可交易
  • 03 签订合同
  • 04 上报材料
  • 05 确认变更
    成功
  • 06 支付尾款
  • 07 交付证书

平台保障

1、源头对接,价格透明

2、平台验证,实名审核

3、合同监控,代办手续

4、专员跟进,交易保障

  • 用户留言
暂时还没有用户留言

求购专利

专利交易流程

  • 01 选取所需专利
  • 02 确认专利可交易
  • 03 签订合同
  • 04 上报材料
  • 05 确认变更成功
  • 06 支付尾款
  • 07 交付证书
官方客服(周一至周五:8:30-17:30) 010-82648522