专利详情

专利名称	一种氧化锌基溅射靶材的制备方法
申请号	CN201010166497.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101845614A	公开（授权）日	2010.09.29
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	杨晔;宋伟杰;张宇龙;魏铁锋;张贤鹏;谭瑞琴
主分类号	C23C14/34(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/34(2006.01)I;C23C4/08(2006.01)I
专利有效期	一种氧化锌基溅射靶材的制备方法至一种氧化锌基溅射靶材的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种氧化锌基溅射靶材的制备方法，包括：将掺杂氧化锌纳米粉体经30MPa～150MPa的模压保压30s～300s，再经120MPa～300MPa冷等静压保压60s～600s，接着以0.5℃/min～10℃/min升温速率升到950℃～1300℃保温1min～30min，然后以10℃/min～100℃/min的降温速率降到650℃～1100℃保温2h～40h，最后以0.5℃/min～10℃/min的降温速率降至室温，经切割、打磨，制成氧化锌基溅射靶材。本发明采用特定的两步烧结参数，实现了低烧结温度下制得致密度高于98％、粒径细小均匀且尺寸为0.5μm～20μm、掺杂成分均匀的靶材。